中央超純水供應系統采用集中制備，分質(zhì)供水。所謂中央集中制水、分質(zhì)供水，就是用一套水處理系統對自來(lái)水進(jìn)行深度處理，使其達到各科室可直接使用的水質(zhì)標準，再分別用管網(wǎng)供給各科室使用。工藝流程采用為雙套設計；任一套故障或檢修時(shí)，另一套能確保正常制水；控制系統為自動(dòng)和手動(dòng)各一套，正常運作時(shí)為全自動(dòng)控制，可無(wú)人值守運走，自動(dòng)控制故障時(shí)，手動(dòng)控制可保證設備運作，確保正常供水。
系統特點(diǎn)說(shuō)明：
1、顯示控制器、動(dòng)畫(huà)式流程圖，實(shí)時(shí)顯示并監控各水處理單元工藝運行狀態(tài)；
2、運行狀態(tài)及參數在線(xiàn)顯示：流量在線(xiàn)顯示、壓力在線(xiàn)顯示、源水水質(zhì)和產(chǎn)水水質(zhì)在線(xiàn)監測及數字顯示等，實(shí)時(shí)了解設備運行情況，方便對系統運行狀態(tài)進(jìn)行監控和分析；
3、所有水箱液位全自動(dòng)控制：中間水箱、純水箱、水箱之間的設備連接不僅實(shí)現聯(lián)動(dòng)，同時(shí)保護每臺泵不至空轉而損壞；
4、產(chǎn)品水質(zhì)在線(xiàn)監測與不合格水循環(huán)處理：為保證用水點(diǎn)水質(zhì)符合要求，主機產(chǎn)水水質(zhì)實(shí)時(shí)在線(xiàn)監測，并設有水質(zhì)反饋裝置，不合格水質(zhì)循環(huán)再處理；
5、具備自動(dòng)沖洗管網(wǎng)功能，定期對管路進(jìn)行清洗，以保持管道內部潔凈，管路沖洗時(shí)，可直接排放，也可回流到制水設備主機重新利用，以節約水源；
中央超純水供應系統總體來(lái)說(shuō)一般可分為三個(gè)部分：
超純水制造區（CUB部分）；
超純水拋光循環(huán)區（FAB部分）；
超純水輸送管網(wǎng)（FAB各使用區）。
其中超純水制造區最為復雜其又可分為：預處理、一次純水處理、超純水處理三個(gè)部分。
預處理部分主要包括：沙濾、活性炭塔（有的廠(chǎng)商在沙濾前還增設反應槽、氣浮池）；
一次純水部分主要包括：陰陽(yáng)離子交換塔、脫氣塔（DG）、保安過(guò)濾器、紫外線(xiàn)殺菌器及多級反滲透；
超純水部分主要包括：MDG（脫氧膜組）、TOC-UV殺菌器、混床（MB）及終端過(guò)濾器。
但是由于考慮到在向工藝線(xiàn)設備輸送高純水過(guò)程中，輸水管道會(huì )對水質(zhì)再次造成污染，因而在FAB內一般都設立拋光循環(huán)系統。拋光循環(huán)系統主要以MB為核心，再加上超濾設備（UF），以除去在向工藝生產(chǎn)線(xiàn)輸送純水的過(guò)程中，管網(wǎng)溶入水中的雜質(zhì)。
